橢偏儀 是***種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。它是利用偏振光在薄膜上下表面的反射，通過菲涅耳公式得到光學(xué)參數(shù)和偏振態(tài)之間的關(guān)系來確定光學(xué)薄膜折射率和厚度。在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中，薄膜有著廣泛的應(yīng)用。也正是如此橢偏儀的應(yīng)用也很廣泛，那么接下來我們就是來說說橢偏儀都有哪些特點。

橢偏儀測量的可測量的對象廣泛，可以測量透明膜，無膜固體樣品，多層膜，吸收膜和各種性能不同、厚度不同、吸收程度不同的薄膜，甚至是強吸收的薄膜。

橢偏儀測量細(xì)致被測量的薄膜大小尺寸可以很小，只要1mm即可測量，小于光斑的大小。

橢偏儀測量方式靈活，既可以測量反射膜，也可以測量透射膜。

橢偏儀測量的速度很快。

測量誤差小，在各種粒子束分析測試技術(shù)中，光束引起的表面損傷以及導(dǎo)致的表面結(jié)構(gòu)改變是Z小的。

在橢偏光譜中，被測對象的結(jié)構(gòu)信息(電子的、幾何的)是蘊含在反射(或透射)出來的偏振光束中，通過光束本身與物質(zhì)相互作用前后產(chǎn)生的偏振狀態(tài)(振幅、相位)的改變反映出來。

橢偏儀測量精度高。橢偏光譜的工作原理雖然建立在經(jīng)典電磁波理論上，但實際上它有原子層***的靈敏度。對薄膜的測量準(zhǔn)確度可以達(dá)到1nm，相當(dāng)于單原子層的厚度。

對樣品的要求不嚴(yán)苛。樣品可以是塊體材料與薄膜，由于它可測得物質(zhì)在***個波長范圍內(nèi)介電函數(shù)的實部和虛部，信息量較多，可對固體樣品作精細(xì)分析。

橢偏儀能同時分別測量出幾個物理量。橢偏光譜可直接得到光學(xué)常數(shù)的實部和虛部，不需要K-K關(guān)系。

上述文章內(nèi)容就和大***介紹了橢偏儀的特點，希望能夠使大***更好的了解橢偏儀。