勻膠機(英文名：Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
詳細介紹： 勻膠機(英文名：Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機
品牌 LAURELL
型號 WS-650-23N WS-650-8N WS-650-15N SPIN Coater勻膠機WS65023N
產(chǎn)品概述:
SPIN Coater勻膠機WS65023N型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
勻膠機穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的***致性和均勻性,這正是WS650型均勻膠機的特點.
該機在這方面采取了許多措施:
(***)該設(shè)備采用美***先進技術(shù).
(二)轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非*常穩(wěn)定.
(三)本勻膠機采用PLC控制，速度無極調(diào)節(jié).在啟動之后,***般工藝先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn).步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào).
(四)本勻膠機采用直流驅(qū)動馬達，超過10年的使用歷史
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,***個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.
(六)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,***數(shù)字顯示
(七)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.
(八)勻膠機配真空泵使用.
SPIN Coater勻膠機WS65023N 性能指標：
高性能馬達驅(qū)動
旋轉(zhuǎn)控制
Mz型高精度旋涂用馬達
轉(zhuǎn)速范圍:50~12000RPM （注 50RPM是***小穩(wěn)定轉(zhuǎn)速）
***大加速度:13000RPM/S;
轉(zhuǎn)速誤差:＜±0.5RPM @8000RPM NIST標準認證；
勻膠均勻性:＜1% @6 inch Wafer
電源電壓：220V/ 50Hz
電機功率：200W
適用：Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等勻膠.
體積小,重量輕,操作簡便
客戶參考:香港理工大學(xué),香港科技大學(xué),香港城市大學(xué),北京大學(xué),清華大學(xué)復(fù)旦大學(xué),東南大學(xué),北京工業(yè)大學(xué),江蘇工業(yè)大學(xué),上海大學(xué),北京科技大學(xué)，電子科技大學(xué) ，中***地質(zhì)大學(xué),廈門大學(xué),天津大學(xué)，貴州大學(xué)，西南師范大學(xué),香港電訊學(xué)院,陜西師范大學(xué),北京石油化工學(xué)院,重慶西南大學(xué),中***地質(zhì)大學(xué)，北京理工大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué),哈爾濱工程大學(xué),武漢大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),四川師范大學(xué),同濟大學(xué),天津大學(xué),西南交通大學(xué),南京大學(xué)，南京工業(yè)大學(xué)，華中科技大學(xué)，河南大學(xué)，鄭州大學(xué)等。
中***科學(xué)院上海硅酸鹽研究所，華為集團、TCL集團等***高校及半導(dǎo)體微電子行業(yè).。
主要市場
中***、香港、韓*** 、新加坡、美*** 等******
產(chǎn)品用途： WS650型勻膠機適合半導(dǎo)體硅片,晶片,基片,導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
