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TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)

基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒，LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結(jié)合的***體化系統(tǒng)，能夠滿足高要求客戶的需要。

新***代場發(fā)射掃描電子顯微鏡（LYRA3）給用戶帶來了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，都使LYRA3保持著很高的性價(jià)比。

LYRA3系列的設(shè)計(jì)適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件，TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強(qiáng)大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現(xiàn)代電子光路

• 獨(dú)特的大視野光路設(shè)計(jì)提供各種工作與顯示模式

• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”

• 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

• 全自動(dòng)鏡筒設(shè)置與對(duì)中

• 成像速度很快

• 3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像

• 可選的電子束遮沒裝置提供了電子束光刻技術(shù)

高性能離子光路

• 高性能CANION FIB設(shè)備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術(shù)

• 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

• 裝有兩套差異泵的獨(dú)特離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低

• 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器

• 電子束遮沒裝置與法拉第筒作為標(biāo)配

• 同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像

• FIB的操作軟件集成在SEM軟件

• 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)

• 微/納米加工

• 離子束光刻

維修簡單

只需要很短的停機(jī)檢修時(shí)間，就能使得電鏡長期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得非常仔細(xì)，使得儀器的效率化，操作*簡化。

自動(dòng)程序

自動(dòng)設(shè)置和許多其他的自動(dòng)化操作是設(shè)備的特點(diǎn)。除此之外，電鏡還有樣品臺(tái)自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)分析 程序，能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過內(nèi)置腳本語言 （Python）可進(jìn)入操作軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺(tái)控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

• 多用戶和多語言操作界面

• 圖像管理與報(bào)告生成

• 內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷

• 網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷

• 模塊化的軟件結(jié)構(gòu)

• 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括：自動(dòng)離子束控制、電子束寫入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預(yù)定義FIB工作模式等軟件工具

• 可選軟件包括了：顆粒度分析標(biāo)準(zhǔn)版/專***版、3維表面重建等模塊

• 電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強(qiáng)大工具

• 可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續(xù)SEM圖像，三維重構(gòu)與三維可視化

TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)（GM）

分析潛力

• 高亮度肖特基發(fā)射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像

• 可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭

• 獨(dú)特的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)

• 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化

• 成像速度快

• 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）

• In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析

• 全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)優(yōu)化了樣品操控

• 完美的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）

• 由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。

• 全自動(dòng)設(shè)置的顯微鏡包括了電子光路設(shè)置和合軸功能

• 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置遠(yuǎn)程控制/診斷軟件為標(biāo)配

• 3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像

• 在低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa，用于觀測不導(dǎo)電樣品

• 獨(dú)特的離子差異泵（2個(gè)離子泵）使得離子散射效應(yīng)非常低

• 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器

• 聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒

• 在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和卓越的性能

• FIB切割、信號(hào)采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術(shù)），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能

LYRA3配置

LYRA3 GMH 
裝有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺(tái)的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對(duì)導(dǎo)電樣品的分析。

LYRA3 GMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。

軟件（標(biāo)配）：

• 測量

• 圖象處理

• 3維掃描

• 硬度測量

• 多圖像校準(zhǔn)

• 對(duì)象區(qū)域

• 自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

• 公差

• 編程軟件

• 定位

• 投影面積

• EasySEM^TM

軟件（選配）：

根據(jù)實(shí)際配置和需求

配件：

• 二次電子探頭

• 背散射電子探頭

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探針電流測量

• 壓差式防碰撞報(bào)警裝置

• 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

• TOP-SIMS

• 二次離子探頭

等，各種配件可供選擇