Semilab SE-2000 光譜型橢偏儀
Semilab SE-2000 Spectroscopic Ellipsometer
SEMILAB 光譜型橢偏儀是多功能薄膜測(cè)試系統(tǒng)，適合各種薄膜材料的研究。
產(chǎn)品描述
SE2000全光譜橢偏測(cè)試平臺(tái)基于橢圓偏振測(cè)試技術(shù)，采用的旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器，結(jié)合光纖技術(shù)將偏振光信號(hào)傳輸至分段光譜優(yōu)化的高分辨率單色儀或陣列式多通道攝譜儀，測(cè)得線偏振光經(jīng)過(guò)樣品反射后的偏振態(tài)變化情況，并通過(guò)樣品光學(xué)模型的建立，計(jì)算出單層或多層薄膜結(jié)構(gòu)的厚度、折射率和消光系數(shù)，實(shí)現(xiàn)精確、快速、穩(wěn)定的寬光譜橢偏測(cè)試。
SE2000全光譜橢偏測(cè)試平臺(tái)是Semilab針對(duì)產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)線推出的多功能高速測(cè)試平臺(tái)。模塊化的設(shè)計(jì)，可選配300mm樣品臺(tái)或350*450mm平板樣品臺(tái)，Robot上片系統(tǒng)，圖形識(shí)別系統(tǒng)和數(shù)據(jù)通信系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高速在線監(jiān)控。在測(cè)試功能方面，可自由組合多種從190nm深紫外光譜至2400nm近紅外光譜的探測(cè)器，并可拓展FTIR紅外光譜測(cè)試模組、渦電流法非接觸式或4PP接觸式方塊電阻測(cè)試模組、Mueller Matrix各項(xiàng)異性材料測(cè)試模組、Raman結(jié)晶率測(cè)試模組、電子遷移率表征模組、LBIC光誘導(dǎo)電流測(cè)試模組、反射干涉測(cè)試模組等多種功能，使SE2000成為光學(xué)和電學(xué)特性表征綜合測(cè)試系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
業(yè)界專(zhuān)業(yè)光譜型橢偏儀測(cè)試設(shè)備廠商
業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試機(jī)構(gòu)定標(biāo)設(shè)備，參與發(fā)布中華人民共和***橢圓偏振測(cè)試技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
業(yè)界較寬測(cè)試光譜范圍，選配190nm-25um，并可自動(dòng)切換快速探測(cè)模式和高精度探測(cè)模式
配置實(shí)時(shí)對(duì)焦傳感器，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量
選配Robot上片系統(tǒng)，圖形識(shí)別系統(tǒng)和數(shù)據(jù)通信系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控
獨(dú)特的樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，優(yōu)化固定大尺寸的柔性材料
模塊化設(shè)計(jì)，可綜合監(jiān)控樣品光學(xué)和電學(xué)特性
定期免費(fèi)升***SOPRA材料數(shù)據(jù)庫(kù)
開(kāi)放光學(xué)模型擬合分析過(guò)程，方便用戶(hù)優(yōu)化測(cè)試菜單
主要應(yīng)用
光伏行業(yè)：薄膜電池透明導(dǎo)電膜、非晶硅微晶硅薄膜電池、CIGS薄膜電池、CdTe薄膜電池、有機(jī)電池、染劑敏感太陽(yáng)能電池
半導(dǎo)體行業(yè)：High-K、Low-K、金屬、光刻工藝、半導(dǎo)體鍍膜工藝、外延工藝
平板顯示行業(yè)：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色濾光片
光電行業(yè)：光波導(dǎo)、減反膜、III-V族器件、MEMS、溶膠凝膠
主要技術(shù)指標(biāo)
測(cè)試速度：＜1 sec （快速測(cè)試模式）
＜120 sec （高分辨率測(cè)試模式）
測(cè)量光譜分辨率：＜0.5nm@633nm （高分辨率測(cè)試模式）
＜0.8nm@633nm （快速測(cè)試模式）
*da樣品尺寸： 300mm
厚度測(cè)量范圍：0.01nm-50um
厚度測(cè)試精度：0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率測(cè)試精度：0.002 @120nm SiO2 on Si
不同配置：
SE-2xxx-全自動(dòng)測(cè)試平臺(tái)
IRSE-紅外光譜型橢偏儀
SE-1000-低成本手動(dòng)測(cè)試平臺(tái)
SE-1100-適于測(cè)試柔性襯底材料
EP-橢偏測(cè)孔隙率
LE-103PV-激光型橢偏儀
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
