自動掃描薄膜測量儀器SenSol

 

SenSol是SENTECH光伏產(chǎn)品組合中的自動大面積掃描儀器。自動表征膜厚、薄層電阻、霧度、反射和透射的均勻性。使用SenSol，可以監(jiān)測大型玻璃基板上的沉積過程的均勻性，從而可以顯著減少儀器維護后重新開始生產(chǎn)的時間。

 

整體表面分析

SenSol自動掃描系統(tǒng)是為薄膜測量設(shè)計的，在面板上的每個位置，特別是在邊緣都可以進行測量。

 

TCO自動掃描

TCO可以研究厚度的均勻性、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。

 
 

工藝優(yōu)化

新的沉積工藝或清洗后的沉積設(shè)備的運行時間顯著減少。

 

SenSol自動掃描儀器設(shè)計用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線測量。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺中。這也允許特定的工藝監(jiān)測，提供補償工藝中出現(xiàn)的差異。

 

瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測量設(shè)備的供應商，也是SENTECH的主要參考客戶，通過SenSol的工藝監(jiān)測確保了優(yōu)異的生產(chǎn)效果。

 

SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自動掃描軟件為制造商主計算機提供了靈活和定制的接口，以及客戶特定的薄膜測量結(jié)果的圖形表示。