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美國MKS Instruments Inc.
MKS Instruments, Inc. 在氣體、真空儀器應用方面一直居于全球之技術領先的地位。 相關的產品應用于尖端之材料科學或制程技術的改善，從精密的半導體工業(yè)，光電產業(yè)到工業(yè)用工具的表面涂裝, 食品及制藥工業(yè)等范圍，這些制程都牽涉到在控制的環(huán)境內使分子氣相及固相發(fā)生適當?shù)姆磻?，以便在材料上形成不同的材質或薄膜。

藉由 MKS 的各種相關產品以管理, 監(jiān)測及控制氣體，壓力等條件, 提供制程所須的環(huán)境，同時 MKS 也提供各種制程產生器 , 例如: 電漿產生器, 微波產生器, 臭氧產生器, 射頻供應器 等相關元件供應制程所環(huán)境, 以達到制程控制。

MKS 擁有完整的技術及產品資源，不管是產品的研發(fā)設計、客戶的支持服務，都能快速提供依客戶特殊須求的產品服務來配合。

MKS 是全球最著名的先進生產工藝控制設備供應商之一， 其產品廣泛地應用于各種半導體器件生產, 平板顯示器, 光學儲存介質, 玻璃鍍膜, 光電產品等生產設備及制藥和醫(yī)學成像設備。 MKS 前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)， 推動其產品一直處于全球技術領先地位。 MKS 的電源, 測量, 控制和復雜氣體相關的工藝監(jiān)控技術， 改善了設備完好率和產品成品率， 提高了生產產量和產品性能。 MKS 產品起源于我們的壓力測量和控制核心技術， 延伸到材料遞送, 氣體和薄膜成分分析, 靜電荷控制, 工藝控制, 信息管理, 電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術。

MKS成立于 1961 年， 總部位于美國東部波士頓以北的 Wilmington。 近三千名員工工作在全球各地十三個分公司, 七個研究中心, 十個生產基地 (其中中國深圳的 ENI電源工廠擁有近 500員工) 及 140 多個銷售辦事處和 30 多個技術服務中心。 公司在納斯達克上市， 股票代碼： MKSI。

MKS 擁有完整的技術及產品資源， 無論是產品的研發(fā)設計, 生產管理還是客戶支持服務， 都能快速滿足客戶的各種特殊需求。 MKS主要提供有： 氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。

 
萬機儀器(上海)有限公司是美國萬機儀器有限公司 (MKS Instruments, Inc.) 在中國的全資子公司。位于上海金橋出口加工區(qū)的銷售和技術服務中心，為迅速發(fā)展的中國半導體、太陽能電池、LED和真空工業(yè)提供一流的產品和技術服務。公司在上海外高橋保稅區(qū)還設有保稅倉庫。